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PI固化厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐使用注意事項
來源: | 作者:pro00ad5e | 發布時間: 2015-05-21 | 5025 次瀏覽 | 分享到:
PI固化專用厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐應用機制:

   微機電系統(MEMS)是微電子技術與機械,光 學等領域交叉融合的產物,是在IC工藝技術基礎上的延伸和拓

展,是微電子技術應用的新突破。犧牲層
技術作為MEMS的關鍵技術之一,是利用不同材料在同一種腐蝕液(或腐蝕

氣)中腐蝕速率的差異,選擇性地將結構圖形與襯底之間的材料(即犧牲層
材料)刻蝕掉,進行結構釋放,形成空腔上

膜或其他懸空結構的一種微加工技術。

 與其它光刻膠,金屬相比,光敏性PI作為犧牲層材料時有以下一些優點:粘度高,容易制得高厚度的犧牲層;

具有較好的流動性,使得犧牲層表面更
易于平坦化,有利于制作平整的結構;具有出色的耐熱性能,使其更容易

與其他MEMS工藝相兼容;對酸堿穩定,耐腐蝕,且不溶于丙酮、乙醇等多數
有機溶劑。因此,光敏聚酰亞胺是犧牲層

的首選材料。


PI固化專用厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐技術參數:

1. 溫度范圍:RT+50~500℃

2. 腔體尺寸(cm):W50×D50×H50;可自定

3. 外形尺寸(cm):約173×160×119mm(W×D×H);

4. 內膽材質:SUS304鏡面不銹鋼;

5. 加熱器:特制無塵加熱器;

6. 氧含量指標:≤ 50ppm

7. 電源:380V/50HZ,三相五線制

8. 控制部分

a. 控制:曲線升溫模式;

b. 控溫儀表:觸摸屏溫控儀;

c. 控溫段數:多段數,多工藝;

d. 超溫報警:獨立限溫控制;

9.氮氣控制:裝有雙通道可調式氮氣流量計,全程通氮氣。

10.輔助降溫:風冷、水冷

11.厭氧烘箱應用于聚酰亞胺層(PI)固化烘烤.應用聚酰亞胺時需要注意的問題是厚度控制和亞胺化處理。一旦

亞胺化處理不當,聚酰亞胺膜層將
發生降解和裂紋的現象,使其性能下降。另外,不同的亞胺化方法,所獲得聚酰亞

胺薄膜材料的性能也不一樣,實驗中需嚴格控制亞胺化過程。


12.亞胺化的過程包含二個步驟:圖形化后的預亞胺化和完全亞胺化。多次實驗后采用階梯升溫過程,亞胺化效果

最佳。采用程控烘箱進行亞胺化,烘
箱內為純N2氛圍,如果升溫速率過快,表面的溶劑和水蒸氣急劇揮如果升溫速

率過快,表面的溶劑和水蒸氣急劇揮發,而內部的溶劑和水蒸氣卻殘留
在薄膜內,則容易在犧牲層中產生氣孔開裂;

如果保溫時間不夠,將使溶劑不能完全排除,隨后的高溫亞胺化過程中同樣會產生氣泡甚至開裂,就不能形
成機械

強度良好的亞胺膜.



  
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