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一．無塵烤箱，智能無塵烤箱概述
       智能制造主要指生產(chǎn)線現(xiàn)場的生產(chǎn)過程管理、現(xiàn)場監(jiān)控和控制等，包括智能工廠生產(chǎn)過程的數(shù)據(jù)采集及分析，實現(xiàn)生產(chǎn)過程、設備、資源監(jiān)控的可操作和可視化；要能支持采集不同現(xiàn)場設備數(shù)據(jù)的要求，支持將生產(chǎn)數(shù)據(jù)及設備故障信息顯示在監(jiān)控站的屏幕上，實現(xiàn)生產(chǎn)過程的動態(tài)監(jiān)控與管理；實現(xiàn)智能設備、機器人和生產(chǎn)線、用戶全流程互聯(lián)對話，實現(xiàn)人機、機機互聯(lián)下的高品質(zhì)、高效、柔性自動化生產(chǎn)等。
      無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。設備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息進行監(jiān)控和控制。
二．無塵烤箱，智能無塵烤箱特點
1、 SECS / GEM是用于設備到主機數(shù)據(jù)通信的半導體設備接口協(xié)議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設備處理，收集測量數(shù)據(jù)，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。 SECS（SEMI設備通信標準）/ GEM（通用設備模型）標準以確定的方式完成所有這些工作。
2、 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100/10；
3、 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
4、 采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100/10；
5、 強制送風循環(huán)方式，雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。
三．無塵烤箱，智能無塵烤箱技術(shù)參數(shù)
1、 無塵等級：Class 100/10;    
2、溫度均勻度：±2℃;    
3、 溫度波動度：±0.5℃（空載）；        
4、 溫控精度：±0.1℃;
5、 潔凈度：100/10級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與潔凈度。
四．無塵烤箱，智能無塵烤箱運行監(jiān)控分析技術(shù)
       智能無塵烤箱運行監(jiān)控分析技術(shù)，通過物聯(lián)網(wǎng)向制造企業(yè)提供針對產(chǎn)品的遠程智能服務，包括遠程監(jiān)控、遠程預警、遠程維護、數(shù)據(jù)分析等。智能服務拓展到產(chǎn)品的全生命周期管理。產(chǎn)品智能化服務系統(tǒng)包括產(chǎn)品遠程監(jiān)護與維護平臺、基于大數(shù)據(jù)挖掘的產(chǎn)品使用分析系統(tǒng)、智能手機APP自助服務系統(tǒng)，實現(xiàn)功能包括以下幾類：
●  對各類產(chǎn)品的上多種數(shù)據(jù)進行采集、存儲；
●  及時分析用戶使用典型行為；
● 為客戶提供優(yōu)化解決方案及實時監(jiān)控產(chǎn)品使用情況的綜合服務；
● 產(chǎn)品智能化服務的成功應用可以大大提高工作效率，服務維護成本顯著降低，產(chǎn)品差異化程度提升。