就
是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
-
智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級無塵烘箱
-
氮氣烘箱，精密充氮烘箱
-
LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
-
熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
-
HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
-
智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
-
真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
-
精密烤膠臺，高精度烘膠機
-
超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
最新消息
熱搜：HMDS烘箱 無塵烤箱 無氧烤箱
產 品 中 心
products
圖像翻轉烘箱 光刻圖形反轉設備
發布時間: 2024-10-09 11:52
圖像翻轉烘箱 光刻圖形反轉設備工藝原理：
光刻圖形反轉是一種特殊的工藝，用于制作?半導體器件。在曝光結束后，光刻膠中的圖像與想要得到的圖像是相反的，即曝光區域在顯影后會形成孔洞而不是島區。這種工藝主要用于制作孔洞結構，通過改變曝光區域和非曝光區域的相對分解率來實現。
圖像翻轉烘箱 光刻圖形反轉設備的應用：
光刻圖形反轉工藝主要用于剝離過程，特別是在柔性電極、電極的制作以及其他一些MEMS器件工藝中。通過底切側壁形態，可以防止沉積的材料在光刻膠邊緣和側壁上形成連續薄膜，有助于獲得干凈的剝離光刻膠結構。
圖像翻轉烘箱 光刻圖形反轉設備的性能：
尺寸(可定制) | 內腔尺寸:450寬×450深×450高(mm)，外形尺寸:760×750×1500 (mm) |
材質 | 內箱采用SUS304不銹鋼，外箱采用優質冷軋板靜電噴塑 |
溫度范圍 | RT+50-250℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度波動度 | ≤±1℃ |
操作模式 | 人機界面 |
升溫速率 | ≤5℃/min |
氣體 | 2路供氣 |
真空度 | 0.1~100KPa |
電源及總功率 | AC220V±10% / 50HZ 總功率約2.8KW |
溫度控制器 | 觸摸屏微電腦溫控器，可校準溫度，PID 自整定等功能 |
擱板層數 | 不銹鋼托盤2層 |
真空泵 | 渦旋干泵 |
腔門密封圈 | 采用耐高溫硅橡膠密封圈，密封圈采用一體成型無縫加工 |
