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對待每一

做到極致認真

每一個零件

每一組數據

  • 智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱,精密充氮烘箱
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮氣烘箱
  • 熱風循環真空烘箱,高溫熱風真空烤箱
  • HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
  • 真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱
  • 精密烤膠臺,高精度烘膠機
  • 超低溫試驗箱,零下-120度高低溫箱
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熱搜:HMDS烘箱 無塵烤箱 無氧烤箱

產  品  中  心

 products

等離子去膠機,等離子表面處理機
    發布時間: 2021-09-26 13:42    
離子去膠機,等離子表面處理機簡介
   等離子去膠機的真空腔采用石英管結構,適于對基片進行去膠、清洗等工藝。該設備具有去膠工藝簡單、可靠、徹底、速率快、成品率高、處 理后無酸氣廢水等殘留等特點。等離子表面處理機采用國內最優射頻源,其電磁兼容性能優良、高頻輻射小,符合國家環保規定。本機外形美觀大方,操作簡便。
等離子去膠機,等離子表面處理機主要配置及技術指標:
  l、電源:單相220V 50Hz,2KW
  2、射頻源:國產, f=13.56MHz 50~500W連續可調,全自動匹配
  3、氣體控制:氧氣和氮氣氣兩路,美國進口浮子流量計控制
  4、真空獲得方式:2L機械泵
  5、真空度:優于-100KPa
  6、氣體流量:0~5L/min
  7、真空腔:石英腔。尺寸:¢200X300mm
  8、產能:每次20片(2"-4")
  9、觸摸屏+PLC控制
  l0、控制方式:自動/手動,自動模式下可實現一鍵完成整個工藝過程
  l1、整機采用松下plc和觸摸屏控制
  12、反射自動匹配
  a、最大負荷電流:10ARMS
  b、最大負荷電壓:200VRMS
  c、傳輸效率:>90%
  d、匹配時間:3~5s
  e、可匹配阻抗實部范圍:1~500Ω
  f、可匹配阻抗虛部范圍:-j200~+j200
  g、主電容:空氣電容
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