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態(tài)


個產(chǎn)品,

對待每一

做到極致認(rèn)真

每一個零件
細(xì)

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱,精密充氮烘箱
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮氣烘箱
  • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱,高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
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SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱
    發(fā)布時間: 2021-09-26 13:42    

一.SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱,100級潔凈烤箱概述

   百級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。設(shè)備可以使用TCP / IP(使用HSMS標(biāo)準(zhǔn),SEMI E37)或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息進(jìn)行監(jiān)控和控制。

二.SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱,100級潔凈烤箱特點

  SECS / GEM是用于設(shè)備到主機數(shù)據(jù)通信的半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議。在自動化工廠中,接口可以啟動和停止設(shè)備處理,收集測量數(shù)據(jù),更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。 SECS(SEMI設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn))/ GEM(通用設(shè)備模型)標(biāo)準(zhǔn)以確定的方式完成所有這些工作。

 在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100;

全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;

采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;

強制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到最佳溫度控制精度。

三.SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱,100級潔凈烤箱技術(shù)參數(shù)

1.主要技術(shù)指標(biāo)

無塵等級:Class 100/10;     

溫度均勻度:±2℃;    

溫度波動度:±0.5℃(空載);        

溫控精度:±0.1℃;

進(jìn)風(fēng)口:φ6mmN2進(jìn)氣、流量計控制;

排風(fēng)口: φ3”排風(fēng)管(外接φ5"法蘭);         

網(wǎng)板:2-5層,

潔凈度:100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

四.SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱,100級潔凈烤箱常用規(guī)格

   容積

       型號

  控溫范圍

 控溫精度

 電源電壓

      內(nèi)膽尺寸(mm)

180L

JS-MOL18

  RT-200/300℃

±1℃

380V/50Hz

W600*D500*H600

270L

  JS-MOL27  

  RT-200/300℃

±1℃

380V/50Hz

W600*D500*H900

480L

JS-MOL48

  RT-200/300℃

±1℃

380V/50Hz

W800*D600*H1000

640L

 JS-MOL64 

  RT-200/300℃

±1℃

380V/50Hz

W800*D800*H1000

980L

JS-MOL98

  RT-200/300℃

±1℃

380V/50Hz

W1400*D700*H1000

1800L

JS-MOL180

  RT-200/300℃

±1℃

380V/50Hz

W1200*D1000*H1500

2700L

JS-MOL270

  RT-200/300℃

±1℃

380V/50Hz

W1500*D1200*H1500

 

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