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個產品,

對待每一

做到極致認真

每一個零件

每一組數據

  • 智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱,精密充氮烘箱
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮氣烘箱
  • 熱風循環真空烘箱,高溫熱風真空烤箱
  • HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
  • 真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱
  • 精密烤膠臺,高精度烘膠機
  • 超低溫試驗箱,零下-120度高低溫箱
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熱搜:HMDS烘箱 無塵烤箱 無氧烤箱

產  品  中  心

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潔凈烘箱,百級無塵烘箱
    發布時間: 2022-05-18 15:03    

潔凈烘箱,百級無塵烘箱用途:

  潔凈烘箱,百級無塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

潔凈烘箱,百級無塵烘箱特點:
1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好;

4.HEPA過濾器與前出風型水平層流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。最小限度控制風速距離過濾效率99.99%;

5.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到高溫度控制精度。

潔凈烘箱,百級無塵烘箱技術參數:

無塵等級:Class100;     

溫度范圍:RT~300/450℃;
溫度均勻度:200℃±2℃;    

溫度波動度:±0.5℃(空載)        
溫控精度:±0.1℃;        

工作尺寸(mm):

450×450×450

500×500×500

600×700×800(可定制)        
電源:380v , 50Hz   

網板:2塊(高度可調節)

可擴展功能:

氧濃度檢測,無塵無氧烘箱

智能聯網功能,MES等工業自動化軟件

掃碼槍,掃碼溯源,一鍵讀取

自動門控,上位機程控,機械手搬運產品





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